QR-код документа
Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники : учебное пособие / Васильевский И. С. - Москва : Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», 2018. - 256 с. - ISBN 978-5-7262-2398-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК | 539.2 |
Кл.слова (ненормированные):
наноструктурная электроника -- наноэлектроника -- физика
Аннотация: Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ.
Доп.точки доступа:
Васильевский, И. С.
Грехов, М. М.
Гусев, А. С.
Каргин, Н. И.
Сигловая, Н. В.
Стриханов, М. Н.
Тимофеев, А. А.
Похожие издания по классификации