QR-код документа
Хорин, И. А.
Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Хорин И. А. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 278 с. - ISBN 978-5-4486-0210-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК | 62 |
Кл.слова (ненормированные):
компонентная база -- нанотехнология -- полупроводник -- радиоэлектроника -- технология
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Похожие издания по классификации