QR-код документа
Данилина, Т. И.
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники : учебное пособие / Данилина Т. И. - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. - 96 с. - ISBN 978-5-91191-202-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК | 621.382 |
Кл.слова (ненормированные):
куф-диапазон -- нанолитография -- наноэлектроника -- оптическая литография -- уф-диапазон -- эуф-диапазон
Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов
Доп.точки доступа:
Чистоедова, И. А.
Похожие издания по классификации