Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии/Величко, А. А.

Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии/Величко, А. А.

https://elib.amu.kz/en/lib/document/IPR/65DD9A7E-1EA2-42E3-BB46-DB6DFCD7DFAD/

45125
Величко, А. А.
    Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии : учебно-методическое пособие / Величко А. А. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2012. - 28 с. - ISBN 978-5-7782-1924-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

535.33

ББК 22.3

Кл.слова (ненормированные):
запрещенная зона -- определение толщины -- полупроводник -- фурье-спектрометр -- ширина зоны -- эпитаксиальный слой
Аннотация: Дано краткое описание способа измерения ширины запрещенной зоны и толщины гетероэпитаксиальных узкозонных полупроводников методом определения спектральных зависимостей коэффициентов поглощения и отражения на ИК Фурье-спектрометре. В работе кратко изложена теория механизмов поглощения и отражения в полупроводниках. Дано описание ИК Фурье- спектрометра Nicolet 6700, изложена методика проведения эксперимента и обработки экспериментальных данных. Приведены контрольные вопросы и список рекомендованной литературы.

Доп.точки доступа:
Кольцов, Б. Б.

QR-код документа