QR-код документа
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники / Достанко А. П. - Минск : Белорусская наука, 2016. - 252 с. - ISBN 978-985-08-1993-2 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК | 621.382 |
Кл.слова (ненормированные):
интегрированный процесс -- лазерная микрообработка -- наноструктура -- производство изделий -- технологический комплекс -- электроника
Аннотация: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Доп.точки доступа:
Достанко, А. П.
Аваков, С. М.
Агеев, О. А.
Батура, М. П.
Бордусов, С. В.
Голосов, Д. А.
Джуплин, В. Н.
Завадский, С. М.
Клим, О. В.
Ланин, В. Л.
Мадвейко, С. И.
Мельников, С. Н.
Петухов, И. Б.
Ретюхин, Г. Е.
Русецкий, А. М.
Титко, Д. С.
Томаль, В. С.
Трапашко, Г. А.
Чередниченко, Д. И.
Школык, С. Б.
Достанко, А. П. \ред.\
Похожие издания по классификации